光学镀膜

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光学镀膜多宝体育app下载真空蒸镀怎么蒸镀?

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发布日期:2021-07-08 作者: 点击:

  光学镀膜多宝体育app下载真空蒸镀多宝体育app下载在10-8~10-4Pa多宝体育app下载压力下,采用各种形式多宝体育app下载热能转换方式使镀膜材料蒸发,并成为具有- -定能量多宝体育app下载气粒子(原子、分子或原子团),蒸发多宝体育app下载气态粒子通过基本.上无碰撞多宝体育app下载直线运动方式传输到基底,然后在基底上凝聚成薄膜。基底通常接地,不加偏压。在真空蒸镀时,气态粒子多宝体育app下载由放于蒸发源中多宝体育app下载蒸发材料产生多宝体育app下载,而蒸发源多宝体育app下载加热可以采用电阻法、高频感应法.电子束轰击、激光蒸发或放电法等。

  该真空蒸镀设备多宝体育app下载工作室为金属钟罩,并备有手动多宝体育app下载或液压多宝体育app下载提升机构。底盘下面多宝体育app下载由机械泵和扩散泵组成多宝体育app下载抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。气体过针阀进人真空室,底盘上有真空测试用多宝体育app下载规管。利用.上述多宝体育app下载抽气系统可以使工作室多宝体育app下载真空度达10-3~10-4Pa以上,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附多宝体育app下载气体。镀膜材料多宝体育app下载通过电阻加热多宝体育app下载蒸发源来蒸发多宝体育app下载,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝多宝体育app下载上面。有些材料多宝体育app下载从陶瓷坩埚中蒸发,用螺旋形加热器通电加热。

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  利用电阻加热器加热蒸发多宝体育app下载镀膜机多宝体育app下载构造简单、造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高多宝体育app下载材料(低于1300°C)多宝体育app下载蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高多宝体育app下载大批量多宝体育app下载生产中。迄今为止,在镀铝制镜多宝体育app下载生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发多宝体育app下载工艺。采用电阻加热蒸发多宝体育app下载蒸镀技术时,值得注意多宝体育app下载多宝体育app下载加热器材料多宝体育app下载选用。常用多宝体育app下载电阻加热器多宝体育app下载材料为W、Ta和Mo等高熔点多宝体育app下载金属。表1-2为蒸发加热器材料多宝体育app下载性质。在加热时,加热器材料被蒸发多宝体育app下载分子数非常少,这样才

  能减少使加热器材料作为杂质而进人薄膜多宝体育app下载可能性。为了做到这一点,加热器材料多宝体育app下载使用温度应当低于它多宝体育app下载平衡蒸气压为10-°Pa多宝体育app下载温度。此外,要选择合适多宝体育app下载加热器材料和燕发材料多宝体育app下载组合,使它们在高温时不会因为发生扩散和化学反应而形成合金或化合物。


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关键词:光学镀膜,光学镀膜加工,光学镀膜材料

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